电容薄膜式霍尼韦尔压力传感器电容薄膜式绝对霍尼韦尔压力传感器自80年代诞生至今有20年历史, 由于它的精度高, 耐腐蚀, 耐污染, 稳定性好, 是国内外公认的检测低真空压力的理想仪表。美国M.K.S的公司是全球生产电容薄膜式霍尼韦尔压力传感器的主要生产厂家, 至目前为止, 它的年销售额已达上亿美元, 涉及民用工业的各个领域, 并在航天工业、核工业等军事工业中发挥着独特的作用。这种霍尼韦尔压力传感器是利用弹性薄膜在压差作用下产生压变引起电容变换的原理制成, 它是由检测部分和转换电路组成检测部分有真空腔及检测腔两个腔体。真空腔为全密封结构, 经质谱检漏仪检漏合格后, 通过长时间排气, 最后将排气管密封形成的, 并备有消气剂, 消除残余气体, 长期保持高真空。固定极板位于真空腔中, 由极板引出线至腔外。检测膜片置于高真空的真空腔及连接低真空待测系统的检测腔之间, 检测膜片为可动极板, 其与固定极板形成一个平板电容器, 有一定的电容值。被测的低真空压力通过检测孔进入检测腔, 检测膜片产生挠曲, 改变了其与固定极板的距离, 电容值也随之改变。不同的低真空压力值决定不同的电容值。最后电容信号被输送到电路转换部分, 电路转换部分将电容信号通过变换、整理、放大等环节,输出一个标准电压或电流信号。这个标准电信号是从电容信号而来, 它与真空压力成正比。真空预冷试验机采用CPCD100Z型电容薄膜式压力送器作为真空室压力的测量。通过微处理机把信号输出在面板上。实验证明, 该类型变送器响应快, 稳定可靠并可以连续使用, 充分满足了试验中压力测量的要求。

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