真空预冷试验机采用霍尼韦尔压力变送器作为真空室压力的丈量。这种压力变送器是利用弹性薄膜在压差作用下产生压变引起电容变换的原理制成, 它是由检测部门和转换电路组成检测部门有真空腔及检测腔两个腔体。检测膜片置于高真空的真空腔及连接低真空待测系统的检测腔之间, 检测膜片为可动极板, 其与固定极板形成一个平板电容器, 有一定的电容值。真空腔为全密封结构, 经质谱检漏仪检漏合格后, 通过长时间排气, 最后将排气管密封形成的, 并备有消气剂, 消除残余气体, 长期保持高真空。被测的低真空压力通过检测孔进入检测腔, 检测膜片产生挠曲, 改变了其与固定极板的间隔, 电容值也随之改变。通过微处理机把信号输出在面板上。不同的低真空压力值决定不同的电容值。这个尺度电信号是从电容信号而来, 它与真空压力成正比。美国M.K.S的公司是全球出产霍尼韦尔压力变送器的主要出产厂家, 至目前为止, 它的年销售额已达上亿美元, 涉及民用产业的各个领域, 并在航天产业、核产业等军事产业中施展着独特的作用。最后电容信号被输送到电路转换部门, 电路转换部门将电容信号通过变换、收拾整顿、放大等环节,输出一个尺度电压或电流信号。霍尼韦尔压力变送器电容薄膜式绝对压力变送器自80年代诞生至今有20年历史, 因为它的精度高, 耐侵蚀, 耐污染, 不乱性好, 是海内外公认的检测低真空压力的理想仪表。实验证实, 该类型变送器响应快, 不乱可靠并可以连续使用, 充分知足了试验中压力丈量的要求
。固定极板位于真空腔中, 由极板引出线至腔外。

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